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只需觸摸手持式探頭即可測量電阻
在電阻率和方塊電阻測量模式之間輕松切換
通過 JOG 旋鈕進(jìn)行簡單的測量條件設(shè)置
可更換連接器連接的電阻測量探頭以支持寬范圍的電阻(電阻探頭:最多可使用 2 + PN 確定探頭)
半導(dǎo)體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
新材料/功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)
化合物半導(dǎo)體相關(guān)(GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等)
其他(*請聯(lián)系我們)
無論樣品的大小和形狀如何,都可以進(jìn)行測量(但是,直徑大于 20 mm 且平坦表面暴露的樣品)
[電阻率] 1m 至 200Ω cm
(*所有探頭類型的總范圍/厚度為 500um 時)
[表面電阻] 10m 至 3kΩ/sq
(*所有探頭類型的總范圍)
*有關(guān)每種探頭類型的測量范圍,請參閱以下內(nèi)容。
(1) 低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω·cm)
(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω·cm)
(3)高:10~1,000Ω/□(0.5 ) ~60Ω·cm)
(4) S-High: 1,000~3,000Ω/□ (60~200Ω·cm)
(5) 太陽能晶圓: 5~500Ω/□ (0.2~15Ω·cm)
機(jī)身:W255×D275×H95mm,4kg
探頭部分:20mmΦ×80mm