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美國Laurell ø300mm旋涂機

美國Laurell ø300mm旋涂機H6-15
勞雷爾 H6-15?旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為ø 300mm 的晶圓和 9“ × 9“ (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于ø 100mm 硅晶圓）。

  • 產(chǎn)品型號：H6-15
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-09-02
  • 訪  問  量：93
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美國Laurell  ?300mm旋涂機H6-15

勞雷爾 H6-15旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。

封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止狀態(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統(tǒng)后部，以防止化學品意外滴落到基材上。

美國Laurell  ?300mm旋涂機H6-15

勞雷爾 H6-15旋涂機 結(jié)構(gòu)緊湊，功能，是安裝在手套箱中最的簡單的旋涂機。 這款 650 系列HL涂布機系統(tǒng)可容納直徑最的大為? 300mm 的晶圓和 9" × 9" (229mm × 229mm) 的基板，最的大轉(zhuǎn)速為12,000 RPM（基于? 100mm 硅晶圓）。

封閉式碗狀設計，加上過程控制器的精確性，可使大多數(shù)涂層材料在靜止狀態(tài)下干燥，從而提高均勻性并最的大程度地減少顆粒污染。上部集氣室在底座內(nèi)部關閉，以提供重疊密封，蓋子內(nèi)部有一個特殊的排水溝，用于將流體引導到系統(tǒng)后部，以防止化學品意外滴落到基材上。


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