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EC-80P是由日本Napson公司推出的手持式渦電流非接觸式量測設(shè)備。
2023-11-27產(chǎn)品中心/ products
napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹可安裝 4 種探頭的探頭更換機構(gòu)無需為每個測量樣品更換探頭。通過雙模式高精度測量高達(dá) 1mm 的邊緣高速測量帶來的成本優(yōu)勢FOUP 裝載口,兼容 GEM/SECS
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napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹
napson探頭測量儀 電阻計 熱電阻 電阻測量機WS-3000的介紹
可安裝 4 種探頭的探頭更換機構(gòu)無需為每個測量樣品更換探頭。
通過雙模式高精度測量高達(dá) 1mm 的邊緣
高速測量帶來的成本優(yōu)勢
FOUP 裝載口,兼容 GEM/SECS
半導(dǎo)體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)
擴(kuò)散樣品
硅基外延、離子注入樣品
其他(*請聯(lián)系我們)
12英寸
(選項;200mm組合使用)
[薄層電阻] 1m 至 10MΩ/sq
4探針半自動玻璃基板薄膜測量儀
XY軸機構(gòu)臺
面內(nèi)多點測量,均勻間距或隨機間距設(shè)置選擇,配備2-D/3-D繪圖軟件
半導(dǎo)體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
新材料/功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)
擴(kuò)散樣品硅基薄膜(LTPS等)、IGZO
硅基外延、離子注入樣品
化合物半導(dǎo)體(GaAs、Epi、GaN、Epi、InP、Ga等)
其他(*請聯(lián)系我們)
最大300×300mm(可選;最大500×500mm)
[電阻率(比電阻)] 1 m 至 200 Ω cm
[薄層電阻] 1 m 至 1,000 k Ω/sq(選項;高達(dá) 10 M Ω/sq
具有大電阻測量范圍的 4 探頭測量儀
用于圓形/方形測量的測量模式可編程和映射軟件
自檢功能、厚度/周邊位置/溫度校正功能(針對硅)
根據(jù)電阻范圍從 2 種類型的測試儀中選擇
(RT-3000(S):寬測量范圍,RT-3000(H):高電阻測量范圍)
半導(dǎo)體及太陽能電池材料(硅、多晶硅、SiC等)
新材料/功能材料(碳納米管、DLC、石墨烯、銀納米線等)
導(dǎo)電薄膜相關(guān)(金屬、ITO等)
擴(kuò)散樣品
硅薄膜(LTPS等)、IGZO
硅基外延、離子注入樣品
其他(*請聯(lián)系我們)
~8 英寸或 ~156x156mm
?選項(用于大直徑尺寸:型號 RG-3000):最大 12 英寸,最大 210 x 210 毫米
①RT-3000(S);
[電阻率(電阻率)] 100μ~1MΩ?cm
[方塊電阻] 1m~10MΩ/sq
②RT-3000(H);
[方塊電阻] 10m~1GΩ/sq
4探針半自動玻璃基板薄膜測量儀
XY軸機構(gòu)臺
面內(nèi)多點測量,均勻間距或隨機間距設(shè)置選擇,配備2-D/3-D繪圖軟件