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ulvac-kiko 水晶振蕩式成膜器 成膜控制器 CRTM-9200CRTM-9200作為CRTM-9100G的后繼機,繼承了前機型的功能和設計,維持了兼容性。優(yōu)秀的膜厚及成膜速率分辨能力(0.0022A),是實現(xiàn)了低速率蒸發(fā)控制和高精度的膜厚控制的水晶振蕩式成膜控制器。最多可同時控制4個蒸發(fā)源
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ulvac-kiko 水晶振蕩式成膜器 成膜控制器 CRTM-9200
ulvac-kiko 水晶振蕩式成膜器 成膜控制器 CRTM-9200
CRTM-9200作為CRTM-9100G的后繼機,繼承了前機型的功能和設計,維持了兼容性。
優(yōu)秀的膜厚及成膜速率分辨能力(0.0022A),是實現(xiàn)了低速率蒸發(fā)控制和高精度的膜厚控制的水晶振蕩式成膜控制器。
最多可同時控制4個蒸發(fā)源。
優(yōu)異的膜厚和速率分辨率(0.0022A)使其成為低速蒸發(fā)成膜控制的理想選擇。
可以同時控制4個蒸發(fā)源。 (添加選項時)
可實現(xiàn)多層膜厚控制,最多可達99層。
程序可以保存到USB中。
通過使用多層計算功能(MLC功能)對于在石英板上的多層成膜,可以精確地測量膜厚度。
蒸發(fā)時的膜厚及速率控制
采用特的測量方式,實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產品陣容包括特的便攜式,自動式和對應真空環(huán)境的設備內置式類型。
UNECS-Portable,測量部的重量只有2.2kg重量輕且緊湊,是易于攜帶的便攜式類型。
可用于真空設備現(xiàn)場驗收試驗,可以通過分離樣品臺直接放在樣品上進行大尺寸樣品的測量。
高速測定:
獨的快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜:
波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。
豐富的產品陣容:
產品陣容應用廣泛,包括如獨的便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內置類型。
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量
波長范圍 | 530 ~ 750nm、380 ~ 760nm(選擇) | |
點徑 | Φ1mm、Φ0.3mm(選擇) | |
入射角度 | 70o固定 | |
膜厚再現(xiàn)性 | 1σ = 0.1nm | |
膜厚范圍 | 1nm ~ 2μm | |
測量時間 | 受光:20ms ~ 3000ms 演算:300ms | |
平臺 | 固定類型(Φ150mm以下、可拆卸) | |
控制PC | 筆記本類型(帶操作/分析軟件) | |
機器構成 | 測量本體(帶固定臺)、控制器BOX、光源單元 操作PC(筆記本型)、使用說明書(CD) |