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日本adwillUV固化型BG表面保護(hù)膠帶E系列的產(chǎn)品介紹

更新時(shí)間:2024-09-03      瀏覽次數(shù):39
  紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶Adwill E系列是紫外光固化BG表面保護(hù)膠帶,可在背磨過程中可靠地保護(hù)晶圓表面,防止因研磨水和研磨碎屑的滲入而污染晶圓表面。 UV照射顯著降低膠帶剝離時(shí)的粘合強(qiáng)度,因此不會對晶圓施加應(yīng)力,可用于加工大直徑和薄晶圓。
膠帶截圖.png
特殊工藝:DBG
 
  按工藝分類的膠帶應(yīng)用
 
  1.標(biāo)準(zhǔn)
 
  2.超薄研磨(厚度>40μm)
 
  3.微型泵(含墨點(diǎn))
 
  4.泵(高度<150μm)
 
  5.高泵(高度<250μm)
 
  兼容設(shè)備
 
image.png
-標(biāo)準(zhǔn)型(通用型)
 
  1.設(shè)備可靠性高
 
  晶圓表面污染極少,因此背面研磨后無需清洗晶圓。
 
  2.保持高清潔度的生產(chǎn)系統(tǒng)
 
  -薄型/凸塊晶圓兼容型
 
  1.抑制背面研磨后的晶圓翹曲,支撐凸塊晶圓
 
  2.提高晶圓厚度精度 (TTV*)
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