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WONIK QnC 吸盤 (ESC) AW100H 熱壓粘合加熱器Multi-Zone技術(shù)

更新時(shí)間：2024-03-19      瀏覽次數(shù)：118

WONIK QnC創(chuàng)立于1983年，是一家專門制造和供應(yīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所使用的石英部件

和生產(chǎn)半導(dǎo)體及顯示器所使用的陶瓷部件的復(fù)合材料零部件專業(yè)公司。

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特點(diǎn)與優(yōu)勢

  • 客戶滿意的最的佳的品質(zhì)

    • ISO 9001, 14001, 27000, 45001

    • 擁有大型三維測量儀(4000x1600)和300mm Zygo干涉儀

  • 陶瓷零部件統(tǒng)一生產(chǎn)體系

    • 擁有原料, 材料, 加工等所有陶瓷生產(chǎn)設(shè)備及工藝

  • 功能性零部件制造

    • ESC, AlN Heater, pBN 高溫 ESC, Pulse Heater, Wafer Table

    • 客戶定制式產(chǎn)品 (設(shè)計(jì)模擬, 制作, 評估)


 吸盤 (ESC)

  • ESC

  • ESC

  • 通過 Hot press 燒結(jié)生產(chǎn)高品質(zhì)陶瓷材料

  • ESC repair 技術(shù)

  • 超精密表面形狀控制技術(shù)

ItemUnitAW100HAS250H
Color-Right grayBlack
Relative density%≥ 99.7≥ 99.0
Dielectric constant (1MHz)F/m10.511
Dielectric loss (1MHz)-2 X 10-32 X 10-3
Volume resistivityRTΩ•cm2 X 10161 X 1016
Bending strengthMPa≥ 500≥ 500
Vickers hardnessHV≥ 1800≥ 2100

熱壓粘合加熱器

  • Pulse

  • Pulse

  • 設(shè)計(jì)并制造可以快速升溫和冷卻的熱線

  • 通過控制結(jié)構(gòu)制造高密度和高熱導(dǎo)度的
    AlN陶瓷燒結(jié)體

  • 通過超精密加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)高平坦度和高平行度

PropertiesSingle-ZoneMulti-Zone
Use Temperature (℃)>400℃>400℃
Heating Rate (℃/sec)20040
Cooling Rate (℃/sec)10010
Thermal Conductivity (W/m·K)200200
Uniformity (@400℃)<3℃<10℃
Size (mm)12, 16, 2250, 60, 70, 120





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