thinksrs殘余氣體分析儀
RGA系列— 100、200和300 amu分析儀
- 100、200和300 amu系統(tǒng)
- 分辨率優(yōu)于1 amu
- 6個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)
單次掃描的范圍 - 5 x 10
-14
托檢測(cè)極限 - RGA視窗軟件
- RS-232和以太網(wǎng)接口
堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)
探針由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測(cè)器組成。簡單的設(shè)計(jì)有少量的零件,最大限度地減少排氣,
并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機(jī)會(huì)。探頭組件堅(jiān)固耐用,安裝在標(biāo)準(zhǔn)2英寸CF法蘭。除了離子發(fā)生
器之外,它被不銹鋼管覆蓋,離子發(fā)生器在真空系統(tǒng)中只需要2英寸的間隙——大約是標(biāo)準(zhǔn)離子規(guī)
的間隙。探頭采用自動(dòng)校準(zhǔn)部件設(shè)計(jì),因此在清潔后可以很容易地重新組裝。