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只需將探頭靠近測(cè)量點(diǎn)即可進(jìn)行高速微位移測(cè)量。
不需要補(bǔ)償麻煩的工作反射。
新插件模塊ATP203!響應(yīng)能力和分辨率進(jìn)一步提高。
3MHz高速響應(yīng)!非常適合分析壓電元件和高速振動(dòng)現(xiàn)象!
納米級(jí)分辨率!它測(cè)量真實(shí)的位移,而不是速度,因此您不會(huì)錯(cuò)過低頻下的微小位移!
配備可變低通濾波器,可實(shí)現(xiàn)最佳響應(yīng)速度和分辨率。
輕松設(shè)定!只需將其靠近工件并僅執(zhí)行一次反射率校正即可!
ATW200是一款差動(dòng)光纖位移計(jì)。我們專有的差分光纖排列 實(shí)現(xiàn)了納米級(jí)的高分辨率和 3 MHz 的高速響應(yīng),同時(shí)抑制了待測(cè)工件反射率的影響。
如圖1所示,光纖束在測(cè)量端布置的發(fā)射光纖、接收光纖A和接收光纖B的相對(duì)側(cè)分支成三個(gè)分支。當(dāng)來自光源的光傾斜入射到發(fā)射光纖時(shí),光從測(cè)量端面射出,如圖2所示,在測(cè)量表面上反射,進(jìn)入接收光纖。此時(shí),反射光變成環(huán)形,其直徑根據(jù)測(cè)量間隙而變化。和信號(hào)PA+PB是總反射光量,差信號(hào)PB-PA根據(jù)間隙變化,如圖 4 所示。差信號(hào)除以和信號(hào)得到的信號(hào)與被測(cè)物體的反射率無關(guān)(圖5)。
非常適合壓電元件的振動(dòng)測(cè)量、高速振動(dòng)現(xiàn)象分析、鏡面旋轉(zhuǎn)體的偏轉(zhuǎn)測(cè)量、掃描探針顯微鏡的探針位移測(cè)量等。
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