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快速穩(wěn)定的控制
車載氣體轉(zhuǎn)換模型
嵌入了 22 種特的氣體
多參數(shù)輸出:質(zhì)量流量、溫度和壓力
USB-C 和藍牙通信
FLEXI-FLOW 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器適用于在真空和 17 bar(a) 之間的工作壓力下精確測量和控制 0…500 ml n /min 和 0…20 l n /min 之間的流量范圍。該儀器將基于毛細管 MEMS 技術的快速穩(wěn)定的熱質(zhì)量流量傳感器與精確且經(jīng)過驗證的旁路結構相結合。由于特的國際專,精確的質(zhì)量流量測量得以建立,幾乎不受溫度和管線壓力變化的影響。結合集成溫度和上游和下游壓力傳感器,22 種氣體的嵌入式數(shù)據(jù)庫可實現(xiàn)精確的機載轉(zhuǎn)換。多參數(shù)儀器為用戶提供有用的過程信息。
FLEXI-FLOW 緊湊型質(zhì)量流量/壓力控制器目前有 3 種型號可供選擇:
“高級預配置"(PA),量程比 1:500,流量 + 溫度 + 上游和下游壓力,4 個流量范圍(FS,基于 N 2):
FF-A500 型 - 500 ml n /min
FF-A2K0 型 - 2 l n /min
FF-A5K0 型 - 5 l n /min
FF-A20K 型 - 20 l n /min
“預配置標準"(PS),量程比 1:50,流量 + 溫度,4 個流量范圍(FS,基于 N 2):
FF-S500 型 - 500 ml n /min
FF-S2K0 型 - 2 l n /min
型FF-S5K0 - 5 升/分鐘
FF-S20K 型 - 20 升/分鐘
“按訂單制造"(BtO),調(diào)節(jié)比 1:1000;在 0.5 和 20 l n /min(FS,基于 N 2)之間自由選擇范圍,
FF-C10 型:流量 + 溫度
FF-C11 型:流量 + 溫度 + 上游和下游壓力;
BtO 模型也可用于配置多達 8 個通道的多通道版本。
測量/控制系統(tǒng) | |
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流量范圍(可提供中間范圍) | 分鐘。 最大0…500 ml n /min 0…20 l n /min (以 N 2計) |
壓力范圍 | PA:0...17 bar(a) PS:不可用 BtO:FF-C10:不可用 / FF-C11:0...17 bar(a) |
精度(包括線性度)(基于實際校準) | PA:±0.8% Rd + ±0.2% FS (N 2 /Air/O 2 ); PS:±1.5% Rd + ±0.5% FS (N 2 /Air/O 2 ); BtO:高達 ±0.5% Rd 加上 ±0.1% FS (N 2 /Air/O 2 ); 對于其他氣體增加轉(zhuǎn)換不確定性;查看多氣體表; |
重復性 | 流量傳感器:< ±0.2% Rd; 壓力傳感器:< ±0,2% FS |
調(diào)節(jié)比 | PS:1:50 PA:1:500 BtO:高達 1:1000 |
最大限度。運營壓力 | 16巴克 |
多氣體/多范圍 | 以及這些氣體的任何混合物的嵌入式氣體數(shù)據(jù) |
穩(wěn)定時間(受控,典型) | < 150 毫秒 |
長期穩(wěn)定性 | < 0.5% 滿量程 3 年;然后 < 0,2% FS 每年 |
控制穩(wěn)定性 | < ± 0,1% FS(1 l n /min N 2 的典型值) |
工作溫度 | 0 … 50攝氏度 |
儲存/運輸條件 | -20 … +80 °C,最大值 95% RH(非冷凝) |
安裝 | 任意位置,姿態(tài)敏感度可忽略不計 |